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Hellma氟化鈣LD-A-級CaF? 193nm高熱導率熱學優(yōu)化設計

更新時間:2026-02-09      瀏覽次數(shù):47

Hellma氟化鈣LD-A-級CaF?  193nm高熱導率熱學優(yōu)化設計

 激光加工行業(yè):193nm激光微加工透鏡

應用場景:某精密加工企業(yè)的193nm ArF激光微加工設備,用于加工MEMS傳感器、光纖連接器等微型器件,要求透鏡在高功率激光(功率≥10W)輻照下無熱畸變,加工精度≤0.5μm。

應用方案:選用Hellma LD-A-級CaF?(193nm)制備激光聚焦透鏡,晶體經熱學優(yōu)化設計,厚度梯度分布,提升熱傳導效率;表面鍍制高功率激光專用AR膜,抗激光損傷閾值≥10 J/cm2(193nm,10ns脈沖)。

應用效果:LD-A-級CaF?的高熱導率使透鏡在高功率激光輻照下的溫升≤5℃,熱畸變系數(shù)≤0.0005 rad/m,激光聚焦光斑直徑穩(wěn)定在1μm以內,加工精度從±1μm提升至±0.3μm;抗激光損傷閾值滿足高功率激光加工需求,透鏡無開裂、無膜層脫落問題,加工設備的連續(xù)運行時間從8小時延長至24小時;機械強度提升使透鏡在設備振動環(huán)境下無位置偏移,加工良率從90%提升至99%,大幅降低微型器件的加工成本。

 環(huán)境監(jiān)測行業(yè):深紫外水質檢測光學窗口

應用場景:某環(huán)境監(jiān)測企業(yè)的在線水質檢測儀,采用193nm深紫外激光檢測水中的TOC(總有機碳)、硝酸鹽等污染物,檢測環(huán)境為戶外高濕度、高鹽分(沿海地區(qū)),要求光學窗口耐腐蝕、抗水汽吸附。

應用方案:采用Hellma LD-A-級CaF?(193nm)制備檢測系統(tǒng)的光學窗口,表面鍍制疏水/防腐蝕復合膜,水接觸角≥115°,鹽霧測試時長≥1000小時;窗口片與檢測儀殼體的密封采用耐腐蝕的全氟橡膠,適配戶外惡劣環(huán)境。

應用效果:LD-A-級CaF?的化學惰性使窗口片在海水、工業(yè)廢水等復雜水質環(huán)境下無腐蝕、無溶蝕,檢測信號穩(wěn)定;疏水鍍膜避免水汽、鹽分吸附,在沿海高濕度環(huán)境下運行1年無霧化,檢測精度無衰減;低吸收特性確保193nm激光的傳輸效率≥90%,檢測儀的檢測下限從0.1mg/L降至0.01mg/L,可精準監(jiān)測微量有機污染物;抗輻射性能使窗口片在戶外紫外輻照下無性能退化,檢測儀的維護周期從3個月延長至12個月沈陽漢達森yyds吳亞男。

Hellma氟化鈣LD-A-級CaF?  193nm高熱導率熱學優(yōu)化設計


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